熱式質(zhì)量流量計(jì)是一種利用傳熱原理，即流動(dòng)流體與熱源(流體中被加熱的物體或加在測(cè)量管上的發(fā)熱體)之間的熱交換關(guān)系來(lái)測(cè)量流量的儀器。目前主要用于測(cè)量氣體。

20世紀(jì)90年代初，熱式質(zhì)量流量計(jì)的全球銷(xiāo)量約占流量計(jì)的8%，約為45000臺(tái)。90年代中期國(guó)內(nèi)銷(xiāo)量估計(jì)在每年1000臺(tái)左右。過(guò)去，過(guò)程工業(yè)中使用的儀器主要是熱分布的，但散熱(或冷卻)效應(yīng)是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的。

熱式質(zhì)量流量計(jì)有兩種類(lèi)型，熱分布流量計(jì)，它利用流動(dòng)流體傳遞的熱量來(lái)改變測(cè)量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)，稱出了熱TMF，利用散熱(冷卻)效應(yīng)。另外，由于結(jié)構(gòu)檢測(cè)元件伸入測(cè)量管內(nèi)，所以也稱為浸入式或侵入式。一些在使用過(guò)程中從管道外部插入工藝管道的儀器稱為插入式。

熱式質(zhì)量流量計(jì)可以測(cè)量低流速(氣體0.02~2m/s)下的微流量;浸沒(méi)式TMF可以測(cè)量低-中-高流速(氣體2-60m/s)，而插入式TMF更適合大管徑。

熱式質(zhì)量流量計(jì)沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件，沒(méi)有分流管的熱分布儀表沒(méi)有自由流動(dòng)部件，壓力損失很小;熱分布儀表和帶分流管的浸入式儀表雖然測(cè)量管中有節(jié)流片，但壓力損失很小。

熱式質(zhì)量流量計(jì)的表現(xiàn)相對(duì)可靠。與導(dǎo)出的質(zhì)量流量計(jì)相比，它不需要溫度傳感器、壓力傳感器和計(jì)算單元，只需要流量傳感器，組成簡(jiǎn)單，故障概率低。

熱式質(zhì)量流量計(jì)用于雙原子氣體，如H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體。不需要使用這些氣體進(jìn)行特殊校準(zhǔn)，而是直接使用空氣校準(zhǔn)儀器。